各种医疗设备，诸如呼吸机，呼吸分析设备和麻醉监测都需要一个快速和准确的气体流量测量。除了医院的应用，家庭医疗保健产品对气体流量的控制需求也越来越多，例如持续气道正压通气（CPAP）机。 Axetris 公司的质量流量计和控制器能提供多种气体，如氧气，空气，氦气和二氧化碳。基于MEMS技术设计的质量流量产品有很多技术优势，如快速的响应时间和高精度的测量。
在一些常用心肺机里的组件都需要准确的气体流量控制。一个典型的部件是氧合器，它被用于在外科手术过程中交换血液中的氧气和二氧化碳。 Axetris可以为医疗应用领域所需的高性能流量计，控制器，气体混合阀组去控制氧气的流量提供解决方案。
Axetris 可以提供质量流量的解决方案，比如为气体激光器的气体流量控制提供阀组（混合器或分离器）。以下是Axetris 质量流量控制的技术优势： 高重复性和精度 超快的响应时间 有效的解决方案，同时可以提供气体阀组 大于1000:1的量程比
薄膜沉积工艺，如反应性的PVD（物理气相沉积），需要一个可重复的反应气体的流量来确保膜的性能。它也可以让你构建非常紧凑的分配阀组，以确保腔室中的气体分布均匀，从而实现统一的涂层属性。
Axetris 的质量流量模块 MFM 2000和MFM 2200系列产品是用户安装在仪器内部的合理选择，对于外部的应用我们推荐带外壳保护的MFC2100系列产品。 重要的是：相比较气压降检漏，质量流量产品有很明显的优势。总的来说它响应比较快，因为它的测量时间不依赖于体积的大小来进行测试。
